電液脈沖伺服油缸
　　
　　1、概述
　　電液脈沖伺服油缸亦稱電液步進缸。常規位置和速度的數字控制是用電液步進馬達扭動絲杠副拖動來完成，但考慮傳動部件的間隙及結構柔度會使控制精度降低。電液脈沖伺服油缸正是為了適應中小行程的數字位置和速度控制而研制的。由于內部附加機械反饋機構故在液壓系統中呈現開環控制，所以該產品使用簡單非常方便。
　　
　　一九九0年我們同中科院沈陽機器人中心為高速步行機器人配套共同研制高速電液脈沖伺服油缸。其特點是將以往電液脈沖伺服油缸的速度提高了一個數量級，即每個電脈沖可達0.1~0.2mm。真正使電液脈沖伺服油缸達到工業適用階段。下面是中科院沈陽機器人中心將電液脈沖伺服油缸應用于高速行走機械人的情況。圖一為電液脈沖伺服油缸脈沖油缸，當年即獲zhuanli權。圖二為"七·五"公關項目"海蟹號水下六足步行機器人"，它可潛深300米，在水底面上行走，它采用有纜方式控制。它上面共安裝有七臺電液脈沖伺服油缸。它是我國臺水下六足步行機器人。、圖三為"海蟹號水下六足步行機器人"在1991年第六屆發明展覽會上獲得獎的證書。圖四為"海蟹號水下六足步行機器人"在1992年"匹茲堡國際博覽會"上獲得的金獎，同時獲得大會主席獎。
　　
　　2、工作原理
　　電(dian)(dian)液脈沖伺服油(you)缸(gang)是(shi)由步進(jin)(jin)電(dian)(dian)機、三位(wei)四通伺服閥、機械反(fan)饋裝置（絲(si)(si)扛(kang)副(fu)）和(he)油(you)杠組成。當步進(jin)(jin)電(dian)(dian)機得到一個脈沖信(xin)號(hao)時(shi)(shi)其輸(shu)出(chu)軸旋(xuan)(xuan)轉(zhuan)1.5或3度角度，伺服閥閥芯帶動(dong)絲(si)(si)扛(kang)同時(shi)(shi)旋(xuan)(xuan)轉(zhuan)，閥芯移(yi)動(dong)并開口換向油(you)缸(gang)輸(shu)出(chu)壓力油(you)，活塞移(yi)動(dong)并帶動(dong)絲(si)(si)杠反(fan)向旋(xuan)(xuan)轉(zhuan)使閥芯退回原位(wei)，伺服閥復中(zhong)位(wei)停止輸(shu)出(chu)壓力油(you)。此時(shi)(shi)油(you)缸(gang)移(yi)動(dong)0.1或0.2mm行(xing)程，油(you)缸(gang)行(xing)進(jin)(jin)的(de)位(wei)移(yi)量和(he)速度是(shi)根據電(dian)(dian)脈沖的(de)給(gei)定值(zhi)決(jue)定。